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J-GLOBAL ID：200902189809750431   整理番号：93A0523040

真空装置内のパーティクル計測技術 新しいセンサーの特性とその応用

Particle measurement technique in a vacuum device.Characteristics of a new sensor and its application.

著者 (2件)： 飯田進也 (ウシオ電機) ,  神谷誠作 (ウシオ電機)
資料名： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
巻： 3  号： 6  ページ： 43-47  発行年： 1993年06月 
JST資料番号： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： パーティクルモニター(PTM)の機器構成と特長を述べた。最小...

シソーラス用語： 粒子弁別 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス一般  (NC03010Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： 真空装置 ,  パーティクル ,  計測技術 ,  センサー ,  応用