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J-GLOBAL ID：200902189858086172   整理番号：00A0826885

Enhanced Defect Capture and Analysis Based on Automatic Defect Classification at Post-lithographic Inspection.

著者 (3件)： HANCE B (AMD, TX) ,  NE’EMAN I (Applied Materials, CA) ,  SKUMANICH A (Applied Materials, CA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3998  ページ： 732-737  発行年： 2000年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)