スパッタ炭素微小電極アレイの作製及びキャラクタリゼーション

SREENIVAS G; ANG S S; FRITSCH I; BROWN W D; GERHARDT G A; WOODWARD D J

文献

J-GLOBAL ID：200902190427876352 整理番号：96A0581140

スパッタ炭素微小電極アレイの作製及びキャラクタリゼーション

Fabrication and Characterization of Sputtered-Carbon Microelectrode Arrays.

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巻： 68 号： 11 ページ： 1858-1864 発行年： 1996年06月01日
JST資料番号： A0395A ISSN： 0003-2700 CODEN： ANCHAM 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標準集積回路及びシリコンミクロ機械加工による新しいスパッタ蒸...

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電気分析一般 , 分析機器

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