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J-GLOBAL ID：200902190547284858   整理番号：94A0600721

高周波プラズマCVD法によるDLC膜の作製とその摩擦・摩耗特性

著者 (8件)： 出水敬 (大阪府産業技総研) ,  曽根匠 (大阪府産業技総研) ,  夏川一輝 (大阪府産業技総研) ,  桜井芳昭 (大阪府産業技総研) ,  藤島征雄 (大阪府産業技総研) ,  佐藤幸弘 (大阪府産業技総研) ,  森河務 (大阪府産業技総研) ,  田原充 (大阪府産業技総研)
資料名： 大阪府立産業技術総合研究所研究報告会要旨集
巻： 1993  ページ： 22-23  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： L0752A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高周波 ,  プラズマCVD法 ,  DLC膜 ,  作製 ,  摩擦 ,  摩耗特性