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J-GLOBAL ID：200902191216191740   整理番号：00A0796806

液晶ディスプレイ技術2000年 液晶ディスプレイ製造技術編 プラズマCVD装置「AKT5500」

著者 (8件)： 竹原尚子 (エーケーティー) ,  HOSOKAWA A (エーケーティー) ,  SUN S (エーケーティー) ,  SHANG Q (エーケーティー) ,  HARSHBARGER W R (エーケーティー) ,  KELLER E (エーケーティー) ,  BLONIGAN W (エーケーティー) ,  LAW K (エーケーティー)
資料名： 電子材料  (Electronic Parts and Materials)
号： 6月号別冊  ページ： 76-79  発行年： 2000年06月22日 
JST資料番号： F0040A  ISSN： 0387-0774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 紹介的記事  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 基板サイズ700×900mm²クラス対...

シソーラス用語： *液晶ディスプレイ ,...
準シソーラス用語： *平板ディスプレイ

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分類 (2件)： 表示機器  (NC06030Q) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 液晶ディスプレイ ,  製造技術 ,  プラズマ ,  CVD装置