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J-GLOBAL ID：200902191339327760   整理番号：00A0870646

超小型・ローコストのMEMS加速度センサを開発 マイクロマシン・センサと信号処理回路を集積し,CSPに封止

著者 (1件)： WEINBERG H (Analog Devices, Inc.)
資料名： Design Wave Magazine  (Design Wave Magazine)
巻： 5  号： 10  ページ： 105-111  発行年： 2000年10月01日 
JST資料番号： L3906A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMS設計の課題を機械設計,電子回路設計,製造プロセス,パ...

シソーラス用語： *センサ ,...

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分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (8件)： ローコスト ,  MEMS加速度センサ ,  開発 ,  マイクロマシン ,  信号処理回路 ,  集積 ,  CSP ,  封止