PbZrxTi1-xO3強誘電性薄膜のための電極

VIJAY D P; DESU S B

文献

J-GLOBAL ID：200902191450218482 整理番号：93A0857928

PbZr_xTi_1-xO₃強誘電性薄膜のための電極

Electrodes for PbZr_xTi_1-xO₃ Ferroelectric Thin Films.

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巻： 140 号： 9 ページ： 2640-2645 発行年： 1993年09月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

2種の導電性酸化物電極,RuO₂とIT...

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固体デバイス製造技術一般

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