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J-GLOBAL ID：200902191504897364   整理番号：94A0163588

微小材料機械的特性評価試験機の試作とシリコン単結晶微小素子の破壊特性評価

Development of Mechanical Testing Machine for Microelements and Fracture Strength Evaluation of Single-Crystalline Silicon Microelements.

著者 (5件)： 駒井謙治郎 (京大 工) ,  箕島弘二 (京大 工) ,  俵秀男 (京大 大学院) ,  井上茂道 (京大 大学院) ,  砂子勝好 (住友電気工業)
資料名： 日本機械学会論文集 A編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)
巻： 60  号： 569  ページ： 52-58  発行年： 1994年01月 
JST資料番号： F0227B  ISSN： 0387-5008  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電磁力負荷方式によって荷重を精密に負荷することにより,微小試...

シソーラス用語： 単結晶 ,...

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分類 (2件)： その他の材料  (HC04050S) ,  その他の無機工業薬品,無機材料  (YB02090K)

引用文献 (7件)：

• (1) 江刺,応用物理,60-3(1991),227.
• (2) 林,精密工学会誌,57-1(1991),23.
• (3) 藤正•中島•鎮西•井街,マイクロマシン開発ノートブック,(1991),秀潤社,
• (4) 江刺,機械の研究,43-12(1991),1267.
• (5) Johanson,S.and Schweitz,J.,J.Appl.Phys.,63-10(1988),4799.

タイトルに関連する用語 (8件)： 微小 ,  機械的特性評価 ,  試験機 ,  試作 ,  シリコン単結晶 ,  微小素子 ,  破壊特性 ,  評価