文献

J-GLOBAL ID：200902191521840260   整理番号：95A0774630

Computer Aided Reaction Designを用いたCVDにおける問題解決へのアプローチ

Approaches to problems in CVD using Computer Aided Reaction Design.

著者 (4件)： 高橋崇宏 (東大 工) ,  萩原和典 (東大 工) ,  江頭靖幸 (東大 工) ,  小宮山宏 (東大 工)
資料名： 化学工学  (Chemical Engineering of Japan)
巻： 59  号： 9  ページ： 642-643  発行年： 1995年09月 
JST資料番号： F0099A  ISSN： 0375-9253  CODEN： KKGKA4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シミュレーション上での仮想実験を行い,実験結果を予測しながら...

シソーラス用語： 計算機シミュレーション ,...
準シソーラス用語： CARD ,...

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分類 (1件)： 反応工学,反応速度論  (XE01020M)

引用文献 (3件)：

• KOSHI, M. J. Phys. Chem. 1993, 97, 4473
• 高橋. 化学工学会第60年会要旨集. 1995, G309
• HARRIS, S. J. J. Appl. Phys. 1990, 67, 6520

タイトルに関連する用語 (3件)： DESIGN ,  CVD ,  問題解決