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J-GLOBAL ID：200902191623293795   整理番号：98A0992237

電気化学的微細加工の応用 序言

Applications of electrochemical microfabrication: An introduction.
著者 (1件)：
DATTA M

DATTA M について

(IBM Res. Div., New York)

IBM Res. Div., New York について


資料名：
IBM Journal of Research and Development  (IBM Journal of Research and Development)

IBM Journal of Research and Development について


巻： 42  号： 5  ページ： 563-566  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： D0061B  ISSN： 0018-8646  CODEN： IBMJAE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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マイクロエレクトロニクスの分野における電気化学的な微細加工技...
シソーラス用語：
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電気めっき

電気めっき について

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MCM【実装】

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分類 (2件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  電気めっき 
(WC08023B)

電気めっき について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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電気化学

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, 
微細加工

微細加工 について

, 
応用

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