ナノ力学の基礎的側面を調べるためのナノ構造シリコン

BLICK R H; ERBE A; PESCINI L; KRAUS A; SCHEIBLE D V; BEIL F W; HOERNER A; LORENZ H; KOTTHAUS J P

文献

J-GLOBAL ID：200902191947335512 整理番号：02A0747899

ナノ力学の基礎的側面を調べるためのナノ構造シリコン

Nanostructured silicon for studying fundamental aspects of nanomechanics.

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資料名：
巻： 14 号： 34 ページ： R905-R945 発行年： 2002年09月02日
JST資料番号： B0914B ISSN： 0953-8984 CODEN： JCOMEL 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

三次元的なナノ構造構築を行うためのナノ力学についての最近の発...

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固体デバイス製造技術一般

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