単一センサの複数パラメータ検出 半導体ガスセンサの複素アドミタンス測定による特性改善

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J-GLOBAL ID：200902192046376178 整理番号：93A0279697

単一センサの複数パラメータ検出半導体ガスセンサの複素アドミタンス測定による特性改善

Detection of Multiple Parameters from a Sensor Device. Admittance Measurement of Semiconductor Gas Sensor for Improvement.

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資料名：
巻： 29 号： 2 ページ： 137-143 発行年： 1993年02月
JST資料番号： S0104A ISSN： 0453-4654 CODEN： KJSRA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

半導体ガスセンサの信号検出において,センサ素子自身のアドミタ...

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化学プロセスの測定,監視,計装

引用文献 (12件)：

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