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J-GLOBAL ID：200902193315457640   整理番号：98A0566718

スパッタリング法による燃料電池用固体電解質薄膜の特性

Properties of YSZ Thin Films for SOFC Grown by Sputtering.

著者 (5件)： 長田昭義 (大阪工大 工) ,  三村隆宣 (大阪工大 工) ,  岡田好平 (大阪工大 工) ,  岡山英夫 (大阪工大 工) ,  伊佐弘 (大阪工大 工)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 41  号： 3  ページ： 190-193  発行年： 1998年03月 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記電解質としてイットリア安定化ジルコニア(YSZ)薄膜を,...

シソーラス用語： *酸化ジルコニウム ,...
準シソーラス用語： 固体燃料電池

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  燃料電池  (YB04040V)

引用文献 (3件)：

• 燃料電池発電システム編集委員会編. 燃料電池発電システム
• 岡山. 真空. 1997, 40, 4, 372-376
• 三村. 平成9年電気学会全国大会講演論文集. 1997, 2-295

タイトルに関連する用語 (4件)： スパッタリング法 ,  燃料電池 ,  固体電解質 ,  薄膜