低電圧微細加工トンネル加速度計用のCMOSインタフェイス回路

文献

J-GLOBAL ID：200902193393205991 整理番号：98A0380431

CMOS Interface Circuitry for a Low-Voltage Micromachined Tunneling Accelerometer.

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資料名：
巻： 7 号： 1 ページ： 6-15 発行年： 1998年03月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

微細加工センサの新しいカテゴリとして,トンネルチップと対向電...

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時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器

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