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J-GLOBAL ID：200902193658310083   整理番号：99A0245991

多結晶ダイヤモンド/シリコンウエハ構造の抵抗-温度特性

Resistance-Temperature Characteristics of Polycrystalline Diamond/Silicon Wafer Structure.
著者 (1件)：
YONEKUBO S

YONEKUBO S について

(Precision Technol. Res. Inst. Nagano Prefecture, Nagano, JPN)

Precision Technol. Res. Inst. Nagano Prefecture, Nagano, JPN について


資料名：
Sensors and Materials  (Sensors and Materials)

Sensors and Materials について


巻： 11  号： 1  ページ： 13-20  発行年： 1999年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
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抄録/ポイント
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Si<100>基板上に高温デバイス用ダイヤモンド多結晶薄膜を...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*多結晶

多結晶 について

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分類 (1件)：
分類
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熱電デバイス 
(NC03090J)

熱電デバイス について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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多結晶ダイヤモンド

多結晶ダイヤモンド について

, 
シリコンウエハ

シリコンウエハ について

, 
温度特性

温度特性 について


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