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J-GLOBAL ID：200902193728155501   整理番号：97A0524403

Si/SiO₂界面へのSbパイルアップのシミュレーション

Simulational study on Sb pile-up at Si/SiO2 interface.

著者 (2件)： 生塩研一 (広島大) ,  芝原健太郎 (広島大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 44th  号： 0  ページ： 1347  発行年： 1997年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： Si ,  SiO2 ,  界面 ,  Sb ,  パイル ,  シミュレーション