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J-GLOBAL ID：200902193850987682   整理番号：98A0789501

マイクロマシン加工慣性センサ

Micromachined Inertial Sensors.
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著者 (3件)：
YAZDI N

YAZDI N について

(Univ. Michigan, MI, USA)

Univ. Michigan, MI, USA について

, 
AYAZI F

AYAZI F について

(Univ. Michigan, MI, USA)

Univ. Michigan, MI, USA について

, 
NAJAFI K

NAJAFI K について

(Univ. Michigan, MI, USA)

Univ. Michigan, MI, USA について


資料名：
Proceedings of the IEEE  (Proceedings of the IEEE)

Proceedings of the IEEE について


巻： 86  号： 8  ページ： 1640-1659  発行年： 1998年08月 
JST資料番号： D0378A  ISSN： 0018-9219  CODEN： IEEPAD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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シリコンマイクロマシン加工による加速度計とジャイロスコープと...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*マイクロマシニング

マイクロマシニング について

,...
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分類 (2件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器 
(AD05040K)

時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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マイクロマシン加工

マイクロマシン加工 について

, 
慣性センサ

慣性センサ について


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