Ti/3C-SiC系の電気的性質と界面化学

TOUATI F; TAKEMASA K; SAJI M

文献

J-GLOBAL ID：200902193871227696 整理番号：99A0390420

Ti/3C-SiC系の電気的性質と界面化学

Electrical Properties and Interface Chemistry in the Ti/3C-SiC System.

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巻： 46 号： 3 ページ： 444-448 発行年： 1999年03月
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

3C-SiC上のTi接触の性質を測るためキャラクタリゼーショ...

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半導体-金属接触 , 固体デバイス製造技術一般

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