インテリジェント材料・流体システム  ピエゾアクチュエータを用いた大形アクティブ微振動制御装置の半導体製造装置への適用

梶原浩一; 早津昌樹; 今岡静男; 藤田隆史

文献

J-GLOBAL ID：200902193883393001 整理番号：98A0084724

インテリジェント材料・流体システムピエゾアクチュエータを用いた大形アクティブ微振動制御装置の半導体製造装置への適用

Intelligent Material and Fluid Systems. Large Scale Active Microvibration Control System Using Piezoelectric Actuators Applied to Semiconductor Manufacturing Equipment.

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巻： 63 号： 615 ページ： 3735-3742 発行年： 1997年11月
JST資料番号： F0045B ISSN： 0387-5024 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

表記微震動制御装置を実際の施設へ適用し,実際の施設へ適用可能...

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振動伝搬 , 圧電デバイス

引用文献 (10件)：

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インテリジェント材料・流体システム ピエゾアクチュエータを用いた大形アクティブ微振動制御装置の半導体製造装置への適用

インテリジェント材料・流体システムピエゾアクチュエータを用いた大形アクティブ微振動制御装置の半導体製造装置への適用