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J-GLOBAL ID：200902194109376656   整理番号：00A0154894

圧電ミクロカンチレバを用いたPb(Zr,Ti)O₃薄膜の圧電定数測定

Measurements of Piezoelectric Coefficient of Pb(Zr,Ti)O₃ Thin Film Using a Piezoelectric Microcantilever.

著者 (3件)： CHU J (AIST, MITI, Ibaraki) ,  WANG Z (AIST, MITI, Ibaraki) ,  MAEDA R (AIST, MITI, Ibaraki)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 38  号： 12A  ページ： L1482-L1484  発行年： 1999年12月01日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記のカンチレバによる圧電素体薄膜の縦方向圧電定数(d<su...

シソーラス用語： 強誘電体 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】

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分類 (2件)： 誘電体測定技術・装置  (BM05020Q) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (15件)：

• 1) S. Akamaine, T. R. Albrecht, M. J. Zdeblick and C. F. Quate: Sens. & Actuators A 21-23 (1990) 964.
• 2) R. M. Moroney, R. M. White and R. T. Howe: Proc. IEEE Ultrasonic Symp., Montreal, 1989, p. 745.
• 3) Z. Yang, H. Matsumoto and T. Yada: Micro Total Analysis System '98 (Kluwer Academic Publishers, 1998) p. 177.
• 4) R. Maeda, Z. Wang, J. Chu, J. Akedo, M. Ichiki and S. Yonekubo: Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) 7116.
• 5) K. Uchino: Piezoelectric Actuators & Ultrasonic Motors (Kluwer Academic Publishers, 1997) p. 91.

タイトルに関連する用語 (8件)： 圧電 ,  カンチレバ ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  薄膜 ,  圧電定数