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J-GLOBAL ID：200902194202915206   整理番号：97A1011462

スパッタリング堆積した多結晶Al_xIn_1-xN薄膜のバンドギャップボーイングと屈折率スペクトル

Band gap bowing and refractive index spectra of polycrystalline Al_xIn_1-xN films deposited by sputtering.

著者 (7件)： PENG T (Univ. Delaware, Delaware) ,  PIPREK J (Univ. Delaware, Delaware) ,  QIU G (Univ. Delaware, Delaware) ,  OLOWOLAFE J O (Univ. Delaware, Delaware) ,  UNRUH K M (Univ. Delaware, Delaware) ,  SWANN C P (Univ. Delaware, Delaware) ,  SCHUBERT E F (Boston Univ., Massachusetts)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 71  号： 17  ページ： 2439-2441  発行年： 1997年10月27日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AlGaInN系は青色発光デバイス応用のために非常に興味がも...

シソーラス用語： 屈折率 ,...

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分類 (1件)： 光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタリング堆積 ,  多結晶 ,  薄膜 ,  屈折率 ,  スペクトル