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J-GLOBAL ID：200902194509823996   整理番号：95A0567199

センサ走査方向比較検査によるTFT-LCD上微粒子検出

Detection of Small Particles on TFT-LCD Using Comparison Method along Scanning Direction of Image Sensor.

著者 (4件)： 中村篤史 (長岡技科大 大学院) ,  秋山伸幸 (長岡技科大) ,  谷内俊明 (日立電子エンジニアリング) ,  近松秀一 (日立電子エンジニアリング)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 61  号： 6  ページ： 864-868  発行年： 1995年06月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： TFT-LCD上に付着してパターン欠陥の原因となる1μm以上...

シソーラス用語： 画像処理システム ,...

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分類 (1件)： 表示機器  (NC06030Q)

引用文献 (5件)：

• 秋山伸幸. 半導体用異物検査技術. 精密工学会誌. 1989, 55,2, 294
• 秋山伸幸. 差画像検出方式異物検査装置の開発. 精密工学会誌. 1991, 57,11, 1955
• 秋山伸幸. 空間フィルタを用いたウエハ異物検出技術. 精密工学会誌. 1992, 58,11, 1909
• 小泉光義. LSIパタ-ンからの反射光の偏光特性を利用した異物検出法の開発. 計測自動制御学会論文集. 1989, 25,9, 954
• KNOLLENBERG, R. G. A Polarization Diversity Surface Analysis System. SPIE Lasers in Microlithography. 1987, 774, 32

タイトルに関連する用語 (4件)： 走査方向 ,  検査 ,  TFT-LCD ,  微粒子