バイアス法による不純物ドープダイヤモンド膜を新しい生成方法

文献

J-GLOBAL ID：200902194764825145 整理番号：02A0786266

A new method of formation of impurity-doped diamond films by bias method.

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資料名：
巻： 11 号： 10 ページ： 1804-1807 発行年： 2002年10月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

n型Si(100)基板を用い,CH₄...

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その他の無機化合物の薄膜

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