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J-GLOBAL ID:200902194771710698   整理番号:01A1016996

Siにおける電子照射に誘起された再結晶化の機構

Mechanism of electron-irradiation-induced recrystallization in Si.
著者 (4件):
資料名:
巻: 64  号: 12  ページ: 125313.1-125313.5  発行年: 2001年09月15日 
JST資料番号: D0746A  ISSN: 1098-0121  CODEN: PRBMDO  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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