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J-GLOBAL ID：200902195019995469   整理番号：02A0337444

ポリイミド薄膜の電気特性の膜厚依存性

Effect of Film Thickness on Electrical Properties of Polyimide Thin Films.

著者 (3件)： LIANG T (JSR) ,  槙田穣 (JSR) ,  木村慎一 (JSR)
資料名： JSRテクニカルレビュー  (JSR Technical Review (Japan Synthetic Rubber))
号： 109  ページ： 6-11  発行年： 2002年03月31日 
JST資料番号： G0998A  ISSN： 0916-7129  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 基板から剥がれない高分子薄膜の電気特性評価法を提案し,膜厚8...

シソーラス用語： *芳香族脂肪族ポリイミド ,...
準シソーラス用語： IRAS法

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分類 (2件)： 物理的性質一般  (YH02021U) ,  その他の高分子材料  (YH07150C)

物質索引 (2件)： 4,4′-メチレンビスアニリン ,  5,9-メタノオクタヒドロ-1H-ピラノ[3,4-d]オキセピン-1,3,6,8-テトラオン

タイトルに関連する用語 (3件)： ポリイミド薄膜 ,  電気特性 ,  膜厚依存性