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J-GLOBAL ID：200902195127829214   整理番号：99A0266342

LSI設計レイアウト中のテストパッド配置によるEビーム可観測性の改良

Improvement of E-Beam Observability by Testing-Pad Placement in LSI Design Layout.

著者 (2件)： KUJI N (NTT System Electronics Lab., Atsugi-shi, JPN) ,  TAKEDA T (NTT System Electronics Lab., Atsugi-shi, JPN)
資料名： IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)  (IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E82-C  号： 2  ページ： 387-392  発行年： 1999年02月 
JST資料番号： L1370A  ISSN： 0916-8524  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多レベル配線LSIのEビーム可観測性を改良するために,新しい...

シソーラス用語： 可観測性 ,...

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分類 (2件)： 集積回路一般  (NC03161C) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (8件)：

• MURASE, M. Advanced LSI failure analysis and its limitation. IEICE.Technical Report
• INO, M. LSI applications of 0.25-μm CMOS/SIMOX technology. Proc. ISDM '96
• KUJI, N. Electron beam testing in the quartermicron technology era. Proc. 1996 Electronics Society Conference of IEICE
• KUJI, N. Automated placement of testing pads for electron-beam observation. Proc. 8th European Symposium on Reliability of Electron Devices
• MORIMOTO, Y. H. Anew VLSI diagnosis technique: Focused ion beam assisted multi-level circuit pronbing. Reliability Physics 25th Annual Proceedings

タイトルに関連する用語 (6件)： LSI設計 ,  レイアウト ,  テスト ,  パッド ,  ビーム ,  可観測性