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J-GLOBAL ID：200902195190339391   整理番号：94A0196965

陽極酸化アルミナレジスト膜を用いたサブミクロン電極の作製とGHz帯弾性表面波デバイスへの応用

Nano-meter electrode fablication technology using anodic oxidation resist and application to SAW devices.

著者 (5件)： 山之内和彦 (東北大 電通研) ,  目黒敏靖 (東北大 電通研) ,  我妻康夫 (東北大 電通研) ,  小田川裕之 (東北大 電通研) ,  山本圭一 (東北大 電通研)
資料名： 日本音響学会研究発表会講演論文集  (Reports of the Meeting. the Acoustical Society of Japan)
巻： 1993  号： Autumn Pt 2  ページ： 1057-1058  発行年： 1993年10月 
JST資料番号： G0381B  ISSN： 1340-3168  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： 陽極酸化アルミナ ,  レジスト膜 ,  サブ ,  作製 ,  GHz ,  弾性表面波デバイス ,  応用