文献
J-GLOBAL ID:200902195190339391
整理番号:94A0196965
陽極酸化アルミナレジスト膜を用いたサブミクロン電極の作製とGHz帯弾性表面波デバイスへの応用
Nano-meter electrode fablication technology using anodic oxidation resist and application to SAW devices.
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