KATZER D について
Fraunhofer-Inst. Werkstoffmechanik, Halle/S., DEU について
NAGEL J について
Deutsche ITT Industries GmbH, Freiburg, DEU について
REICHE M について
Max-Planck-Inst. Mikrostrukturphysik, Halle/S., DEU について
HOPFE S について
Max-Planck-Inst. Mikrostrukturphysik, Halle/S., DEU について
Proceedings of the 3rd International Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology, 1993 について
LOCOS について