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J-GLOBAL ID：200902195370410426   整理番号：00A0505522

アーク蒸着TiC_xN_1-x(0≦x≦1)膜の成長,ミクロ組織及び機械的性質

Growth, microstructure, and mechanical properties of arc evaporated TiC_xN_1-x(0≦x≦1) films.

著者 (5件)： KARLSSON L (Seco Tools AB, Fagersta, SWE) ,  HULTMAN L (Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE) ,  JOHANSSON M P (Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE) ,  SUNDGREN J-E (Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE) ,  LJUNGCRANTZ H (Impact Coatings AB, Linkoeping, SWE)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 126  号： 1  ページ： 1-14  発行年： 2000年04月03日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記薄膜を反応ガスの流量比を変えて,約550°C基板バイアス4...

シソーラス用語： *チタン化合物 ,...

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分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (4件)： アーク蒸着 ,  成長 ,  ミクロ組織 ,  機械的性質