ヘキサフェニルジシランのエキシマレーザアブレーションによって蒸着したけい素をベースとするポリマ膜の構造に対するポリマ添加および温度の効果

文献

J-GLOBAL ID：200902195372716808 整理番号：02A0128424

Effect of polymer addition and temperature on the structure of silicon-based polymer films deposited by excimer laser ablation of hexaphenyldisilane.

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巻： 145 号： 3 ページ： 223-228 発行年： 2001年12月03日
JST資料番号： D0721B ISSN： 1010-6030 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

ヘキサフェニルジシラン(HPDS)のレーザアブレーション蒸着...

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高分子固体の構造と形態学 , レーザの応用

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