文献

J-GLOBAL ID：200902195416926961   整理番号：02A0646510

微粒子,超微粒子の衝突固化現象を用いたセラミックス薄膜形成技術 エアロゾルデポジション法による低温・高速コーティング

著者 (2件)： 明渡純 (産業技術総合研 機械システム研究部門) ,  LEBEDEV M (産業技術総合研)
資料名： まてりあ  (Materia Japan)
巻： 41  号： 7  ページ： 459-466  発行年： 2002年07月20日 
JST資料番号： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記のデポジション法(AD法)の研究背景と成膜/成形原理およ...

シソーラス用語： エアロゾル ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=02A0646510&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0163A") }}

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (67件)：

• (1) D. K. Potter and T. J. Ahrens: Appl. Phys. Lett., 51 (1987), 317-319.
• (2) H. Hirai and K. Kondo: Science, 253 (1991), 772-774.
• (3) L. E. Murr, A. W. Hare and N. G. Eror: Nature, 329 (1987), 37-39.
• (4) C. L. Seaman et al.: Appl. Phys. Lett., 57 (1990), 93-95.
• (5) T. Negishi et al.: J. Mater. Sci., 20 (1985), 399-406.

タイトルに関連する用語 (9件)： 微粒子 ,  衝突 ,  固化 ,  現象 ,  セラミックス ,  薄膜形成技術 ,  エアロゾルデポジション法 ,  低温 ,  コーティング