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J-GLOBAL ID：200902195570144666   整理番号：98A0856597

ソフトリソグラフィ

Soft lithography.
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著者 (2件)：
XIA Y

XIA Y について

(Harvard Univ., Massachusetts)

Harvard Univ., Massachusetts について

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WHITESIDES G M

WHITESIDES G M について

(Harvard Univ., Massachusetts)

Harvard Univ., Massachusetts について


資料名：
Annual Review of Materials Science  (Annual Review of Materials Science)

Annual Review of Materials Science について


巻： 28  ページ： 153-184  発行年： 1998年 
JST資料番号： D0856A  ISSN： 0084-6600  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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マイクロメータ及びナノメータ加工を行うための自己アセンブリと...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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サブミクロン加工

サブミクロン加工 について

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (1件)：
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