文献

J-GLOBAL ID：200902195855767799   整理番号：00A0078549

高速低電圧応力誘起・マイクロマシン加工2×2光スイッチ

A High-Speed Low-Voltage Stress-Induced Micromachined 2×2 Optical Switch.

著者 (3件)： CHEN R T (Univ. California at Los Angeles, CA, USA) ,  NGUYEN H (Univ. California at Los Angeles, CA, USA) ,  WU M C (Univ. California at Los Angeles, CA, USA)
資料名： IEEE Photonics Technology Letters  (IEEE Photonics Technology Letters)
巻： 11  号： 11  ページ： 1396-1398  発行年： 1999年11月 
JST資料番号： T0721A  ISSN： 1041-1135  CODEN： IPTLEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 応力によって湾曲させたポリシリコン片持梁を用いて,低電圧静電...

シソーラス用語： *光スイッチ ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0078549&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=T0721A") }}

分類 (1件)： その他の光伝送素子  (BD06040S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 低電圧 ,  応力 ,  誘起 ,  マイクロマシン加工 ,  光スイッチ