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J-GLOBAL ID：200902196324201908   整理番号：97A0831935

電子・イオンビームによる粒子アセンブル 新しいマイクロメータサイズの構造制御

Particle Assemblage by Electron and Ion Beams. A novel fabrication method at the micrometer scale.

著者 (4件)： 小林幹彦 (金材技研) ,  不動寺浩 (金材技研) ,  長谷正司 (金材技研) ,  新谷紀雄 (金材技研)
資料名： 固体物理  (Solid State Physics)
巻： 32  号： 9  ページ： 755-761  発行年： 1997年09月 
JST資料番号： F0158B  ISSN： 0454-4544  CODEN： KOTBA2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 粒子アセンブルのための粒子のハンドリング技術の開発について紹...

シソーラス用語： 微粒子 ,...
準シソーラス用語： ハンドリング

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子 ,  イオンビーム ,  マイクロメータ ,  サイズ ,  構造制御