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J-GLOBAL ID：200902196354177122   整理番号：03A0079028

GaN MOVPEにおける原料気体の分解および均一性

Decomposition and Uniformity of Material Gases in GaN MOVPE.
著者 (2件)：
HIRAKO A

HIRAKO A について

(Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN)

Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN について

, 
OHKAWA K

OHKAWA K について

(Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN)

Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN について


資料名：
Physica Status Solidi. A. Applied Research  (Physica Status Solidi. A. Applied Research)

Physica Status Solidi. A. Applied Research について


巻： 194  号： 2  ページ： 489-493  発行年： 2002年12月16日 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 0031-8965  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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MOVPE法でエピタキシャル成長したGaN層の特性を,シミュ...
シソーラス用語：
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化合物半導体

化合物半導体 について

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シソーラス用語/準シソーラス用語
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MOVPE

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分類 (1件)：
分類
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半導体薄膜 
(BK14040E)

半導体薄膜 について

物質索引 (1件)：
物質索引
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トリメチルガリウム

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タイトルに関連する用語 (5件)：
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MOVPE

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, 
原料気体

原料気体 について

, 
分解

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, 
均一性

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