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J-GLOBAL ID:200902196395636956   整理番号:93A0918092

0.3μm級の逆TゲートMOSとLDD MOSの電流駆動性および信頼性の特性化

Characterization of Current Drivability and Reliability of 0.3 um Inverse T-Gate MOS Compared with Those of Conventional LDD MOS.
著者 (5件):
資料名:
巻: 30  号:ページ: 662-670  発行年: 1993年08月 
JST資料番号: H0632B  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 韓国 (KOR)  言語: 韓国語 (KO)
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標記逆TゲートMOS(ITMOS)と普通の酸化物スペーサli...
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固体デバイス材料 
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