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J-GLOBAL ID：200902196848314440   整理番号：97A0385118

マグネトロンスパッタリングにより作製したPb(Zr,Ti)O₃膜のPbTiO₃バッファ層による構造制御

Structure control of Pb(Zr,Ti)O₃ films using PbTiO₃ buffer layers produced by magnetron sputtering.

著者 (5件)： CATTAN E (Univ. Valenciennes et du Hainaut-Cambr<span style=text-decoration:overline>e ́</span>sis, Maubeuge, FRA) ,  VELU G (Univ. Valenciennes et du Hainaut-Cambr<span style=text-decoration:overline>e ́</span>sis, Maubeuge, FRA) ,  JABER B (Univ. Valenciennes et du Hainaut-Cambr<span style=text-decoration:overline>e ́</span>sis, Maubeuge, FRA) ,  REMIENS D (Univ. Valenciennes et du Hainaut-Cambr<span style=text-decoration:overline>e ́</span>sis, Maubeuge, FRA) ,  THIERRY B (Univ. Valenciennes et du Hainaut-Cambr<span style=text-decoration:overline>e ́</span>sis, Maubeuge, FRA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 70  号： 13  ページ： 1718-1720  発行年： 1997年03月31日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Si/SiO₂/Ti/Pt基板上に標記...

シソーラス用語： 強誘電体 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (8件)： マグネトロンスパッタリング ,  作製 ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  バッファ層 ,  構造制御