文献
J-GLOBAL ID：200902196855582760
整理番号：99A0421697
φ400mmシリコン切断用マルチワイヤーソーの設計コンセプト φ400mmシリコン切断研究 その1
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著者 (3件)：
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資料名：
巻：
1999
号：
春季
ページ：
672
発行年：
1999年03月05日
JST資料番号：
Y0914A
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
引用文献 (2件)：
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OISHI, H. Proc.1998 ASPE Spring Topical Meeting. 1998, 109
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藤沢. 硬脆材料の高能率・高精度スライシング加工. 1995, 188
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