種々のMo-Siターゲットに関するスパッタリング速度の研究

文献

J-GLOBAL ID：200902197188372449 整理番号：95A0093497

Sputtering rate studies on different Mo-Si targets.

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資料名：
巻： 178 ページ： 250-254 発行年： 1994年11月
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

O<sub>2</sub>/Ar雰囲気中でMoSi<sub>...

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酸化物薄膜 , ガラスの製造

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