文献
J-GLOBAL ID：200902197249851280   整理番号：93A0653585

マイクロマシニング技術とマイクロセンサ

Micromachining Technology and Micro Sensors.
著者 (1件)：
原田謹爾

原田謹爾 について

(横河電機)

横河電機 について


資料名：
生産と技術  (季刊誌生産と技術)

生産と技術 について


巻： 45  号： 3  ページ： 8-12  発行年： 1993年07月 
JST資料番号： F0270A  ISSN： 0387-2211  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
マイクロマニシング技術は半導体製造技術に,異方性エッチング,...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
微細加工

微細加工 について

,...
   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=93A0653585&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0270A") }}
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器 
(AD05050V)

力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
マイクロマシニング技術

マイクロマシニング技術 について

, 
マイクロセンサ

マイクロセンサ について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM