Pb(Ti0.48Zr0.52)O3ターゲットのレーザアブレーション 帯電化学種の発生と特性評価

AMORUSO S; BERARDI V; DENTE A; SPINELLI N; ARMENANTE M; VELOTTA R; FUSO F; ALLEGRINI M; ARIMONDO E

文献

J-GLOBAL ID：200902197537420693 整理番号：95A0646377

Pb(Ti_0.48Zr_0.52)O₃ターゲットのレーザアブレーション帯電化学種の発生と特性評価

Laser ablation of Pb(Ti_0.48Zr_0.52)O₃ target: Characterization and evolution of charged species.

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資料名：
巻： 78 号： 1 ページ： 494-504 発行年： 1995年07月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

薄膜のパルスレーザ蒸着の素過程の研究として,標記ターゲット(...

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酸化物薄膜 , レーザ照射・損傷

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Pb(Ti0.48Zr0.52)O3ターゲットのレーザアブレーション 帯電化学種の発生と特性評価

Pb(Ti_0.48Zr_0.52)O₃ターゲットのレーザアブレーション帯電化学種の発生と特性評価