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J-GLOBAL ID：200902197553665477   整理番号：98A0062487

半導体圧力センサの高感度化の検討

Development of High Resolution Techniques for Semiconductor Pressure Sensor.

著者 (5件)： 井上悟 (三菱電機) ,  亀井光仁 (三菱電機) ,  伊藤隆史 (三菱電機) ,  高嶋和夫 (三菱電機) ,  宇佐美照夫 (三菱電機)
資料名： 電気学会計測研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： IM-97  号： 85-86.88-94  ページ： 19-24  発行年： 1997年11月18日 
JST資料番号： Z0912A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 安価な自動車用半導体圧力センサ素子に信号処理技術を付加し,広...

シソーラス用語： *センサ ,...

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分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

引用文献 (5件)：

• センサ適用専門委員会編. 電力設備へのセンサ技術適用. 電気協同研究. 1990, 46, 4, 190
• 羽場. 小電流地絡領域における圧力式故障検出器の特性. 平成3年電気学会全国大会. 1991, 11-15
• 田村. GISの故障点評定用システムの開発 (第5報). 平成6年電気関係学会関西支部連合大会. 1994, G194
• 伊藤. GIS監視用半導体圧力センサの基本性能の検討. 平成8年度電気学会全国大会. 1996, 6-273
• 山上. 三菱半導体圧力センサPS105. 三菱電機技報. 1983, 57, 9, 56-60

タイトルに関連する用語 (2件)： 半導体圧力センサ ,  高感度化