超精密ELID研削面の表面解析と除去機構の考察

文献

J-GLOBAL ID：200902197793857845 整理番号：96A0367239

Analysis of Surface Generation and Removal Mechanism by Ultraprecision ELID-Grinding.

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資料名：
巻： 1995 ページ： 1-2 発行年： 1995年
JST資料番号： L0894A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

粒度の異なるメタルボンドダイヤモンド砥石により,シリコン,ガ...

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固体デバイス製造技術一般 , 研削・研摩材

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