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J-GLOBAL ID:200902197872048707   整理番号:97A0148230

三次元アディティブリソグラフィーによって作られたフォトニック結晶は高密度の集積光学を可能にする

Photonic crystals built by three-dimensional additive lithography enable integrated optics of high density.
著者 (1件):
資料名:
巻: 2849  ページ: 248-256  発行年: 1996年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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フォトニック結晶は空気で囲まれた高誘電率の誘電体ロッドの二次...
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分類 (3件):
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光集積回路,集積光学  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  電子ビーム・イオンビームの応用 
タイトルに関連する用語 (2件):
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