YANKOV R A について
Forschungszentrum Rossendorf e.V., Dresden, DEU について
HATZOPOULOS N について
Forschungszentrum Rossendorf e.V., Dresden, DEU について
SKORUPA W について
Forschungszentrum Rossendorf e.V., Dresden, DEU について
DANILIN A B について
Centre for Analysis of Substances, Moscow, RUS について
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms について
SIMOX について
半導体の格子欠陥 について
固体デバイス材料 について
注入 について
酸素 について
Cu について
ゲッタリング について