非平衡マグネトロンスパッタリングで堆積したダイアモンド状炭素多層コーティングの摩擦と摩耗特性

文献

J-GLOBAL ID：200902198101730456 整理番号：01A0510524

Friction and wear performance of unbalanced magnetron sputter-deposited diamond-like carbon multilayer coatings.

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著者 (1件)：
資料名：
ページ： 263-266 発行年： 2000年
JST資料番号： K20010043 ISBN： 0-87339-495-X 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

異なった組織を持つ2種類のダイアモンド状炭素(DLC)膜を非...

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炭素とその化合物 , その他の無機化合物の薄膜

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