重合体ターゲットから非晶質水素化ダイヤモンド状炭素薄膜のパルスレーザ蒸着

LI Z F; YANG Z Y; XIAO R F

文献

J-GLOBAL ID：200902198114344717 整理番号：96A1018971

重合体ターゲットから非晶質水素化ダイヤモンド状炭素薄膜のパルスレーザ蒸着

Pulsed laser deposition of hydrogenated amorphous diamond-like carbon films from a polymer target.

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巻： 80 号： 9 ページ： 5398-5403 発行年： 1996年11月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

H₂ガスの存在下で重合体ターゲットのレ...

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半導体薄膜

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