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J-GLOBAL ID：200902198171381238   整理番号：94A0154375

ゾル-ゲル法によるPZT薄膜の作製 小沢法による熱分解過程の解析

PZT Thin Films Preparation by Sol-Gel Method and Their Process Evaluation.

著者 (5件)： 田草川友康 (メイテック) ,  山田範明 (名古屋市工研) ,  加藤輝政 (名古屋市工研) ,  服部肇 (名古屋市工研) ,  松井照幸 (メイテック)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 54th  号： 1  ページ： 345  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (8件)： ゾル-ゲル法 ,  PZT ,  薄膜 ,  作製 ,  法 ,  熱分解 ,  過程 ,  解析