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J-GLOBAL ID：200902198563039112   整理番号：93A0876612

Substrate and particle dependent deep level generation in silicon by MeV particle beams.

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著者 (8件)：
TRAUWAERT M-A

TRAUWAERT M-A について

(IMEC, leuven, BEL)

IMEC, leuven, BEL について

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VANHELLEMONT J

VANHELLEMONT J について

(IMEC, leuven, BEL)

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SIMOEN E

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(IMEC, leuven, BEL)

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CLAEYS C

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(IMEC, leuven, BEL)

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JOHLANDER B

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(European Space Agency, Noordwijk, NLD)

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HARBOE-SOERENSEN R

HARBOE-SOERENSEN R について

(European Space Agency, Noordwijk, NLD)

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ADAMS L

ADAMS L について

(European Space Agency, Noordwijk, NLD)

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CLAUWS P

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(RUG, Gent, BEL)

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資料名：
Beam-Solid Interactions: Fundamentals and Applications  (Beam-Solid Interactions: Fundamentals and Applications)

Beam-Solid Interactions: Fundamentals and Applications について


ページ： 93-98  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19930494  ISBN： 1-55899-174-3  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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