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J-GLOBAL ID：200902198610137632   整理番号：96A0354010

マイクロメーターサイズの粒子配列

The Arrangement of Micrometer-sized Powder Particles by Electron Beam Drawing.

著者 (4件)： 不動寺浩 (金材技研) ,  小林幹彦 (金材技研) ,  江頭満 (金材技研) ,  新谷紀雄 (金材技研)
資料名： 粉体工学会誌  (Journal of the Society of Powder Technology, Japan)
巻： 33  号： 3  ページ： 176-181  発行年： 1996年03月 
JST資料番号： S0129A  ISSN： 0386-6157  CODEN： FKKADA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロデバイスの材料作製等に利用できる粉体粒子を設計どおり...

シソーラス用語： ミクロスフェア ,...
準シソーラス用語： シリカ

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分類 (1件)： 応用物理化学的操作・装置  (XE03000E)

引用文献 (6件)：

• KOISHI, M. Biryuushi Setsukei. 1987
• SHINYA, N. Proc. of 2nd Int. Conf. on Intelligent Materials, USA Virginia, 1994. 1994, 1142-1151
• FUDOUZI, H. Extended Abstracts of the 4th symp. on Intelligent Materials, Japan, Tokyo, 1995. 1995, 94-96
• Science and Technology Agency. The concept of Intelligent Materials and The Guidlines on R & D Promotion. 1989
• SEILER, K. J. Appl. Phys. 1971, 54, 11, R1-R18

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロメーター ,  サイズ